氨分解后直接得到氫氮混合氣，氣氛經換熱器和水冷卻器冷卻，經過流量控制后，可進行純化處理。純化裝置主要有除氧器（對氣氛含氧量有特殊要求的客戶選用）、冷卻器、分子篩、吸附干燥器和閥門組、電氣控制等組成。除氧器內裝有貴金屬催化劑，對氣氛進行催化除氧；分子篩吸附干燥器采用沸石分子篩，對氣氛中的微量水、殘氨進行吸附脫除，最終得到高純度、干燥的產品氣。

　　

　　工作原理：

　　

　　氨（氣態(tài)）在一定溫度下，經過催化劑作用下裂解為75%的氫氣和25%的氮氣，并吸收21.9千卡熱量，其主要反映為：2NH3（加熱催化）=3H2+N2-21.9千卡。整個過程因是吸熱膨脹反應，提高溫度有利于氨裂解，同時它又是體積擴大的反應，降低壓力有利于氨的分解。

　　

　　用液氨分解來制取保護氣體，在工業(yè)上是很容易實現的，這是因為：

　　

　　1、氨易分解：常壓，800~850℃在催化劑作用下，即使空速較大，氨分解度仍可超過99%。

　　

　　2、氣體精制容易：作為液氨純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質只有少是惰性氣體和水分，特別值得注意的是其中含O2極微，同時，氨分解時不可能有副反應發(fā)生。由此可見，氨分解后氣體只要設法除去比較容易除去的少量水分就能得到精制了，半導體工業(yè)上所不希望存在的金屬離子cl、CO2等問題都不存在了。

　　

　　3、原料液氨容易得到。價格低廉，而且原料消耗也比較少(每公斤氨可產生2.6M3混合氣體)。

　　

　　特點：

　　

　　1、結構緊湊，占地小，回收期短；

　　

　　2、投資省，運行安全可靠；

　　

　　3、高保溫性能，分解爐能溫度均勻，能耗更低；

　　

　　4、耐熱不銹鋼爐膽和鎳鉻合金電熱絲，使用壽命更長。